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特色工艺
硅基分立器件
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SIC
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IGBT
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MOSFET
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TVS
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FRD
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MEMS
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碳化硅器件(Silicon Carbide)
碳化硅质料具有高导热的质料特征 ，可在高温情形下正常运作。碳化硅功率器件具有耐高压、高频操作的优势。碳化硅器件可改善系统效率、可靠性 ，提升系统功率密度 ，小型化电力电子系统。在高可靠性要求的工业应用、高效电力系统、伺服电源及电力汽车等领域 ，碳化硅质料比其他新兴质料更具显着优势并被普遍应用。
PE
Inverter
Motor
Control
Smart
Power Grid
Ship&
Vessels
Windmills
UPS
xEV
碳化硅器件特点
碳化硅肖特基二极管具有高耐压、高导热质料特征 ，具有优异的反向恢复能力 ，可改善功率损失 ，提升系统的效率。
碳化硅MOSFET具有高速开关、低导通电阻等特征 ，在电力电子高频应用中 ，可以镌汰导通切换的功率损失 ，提升整系一切效率
SiC 平台工艺能力
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高温离子注入
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金属沉积
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高温退火
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激光退火
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深沟槽SiC刻蚀
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SiC栅氧
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SiC晶圆减薄
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自瞄准短沟道工艺
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高沟道迁徙率工艺
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零缺陷筛选工艺
Roadmap
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手艺简介
绝缘栅双极型晶体管（IGBT ，Insulated Gate Bipolar Transistor）是一种混淆型电力电子元件 ，其团结了功率BJT和功率MOSFET的优点 ，具有MOS栅压控可关断能力 ，优良的导通特征（低通态功耗和大额定电流） ，适合的开关速率和较宽的清静事情区。Si IGBT最高耐压可达6500V ，事情频率为2kHz至50kHz。现在IGBT普遍应用于消耗类电器、工业控制、工业电源、新能源发电、智能电网、轨道交通、机车牵引和电动汽车等领域。
平台现状
利来老牌国际官网app恒久专注于功率IGBT工艺手艺的开发 ，积累了富厚的开发履历和量产履历 ，现已具备平面IGBT与沟槽IGBT全系列工艺手艺平台能力� ＠蠢吓乒使偻鴄pp乐成开发了1200V~6500V平面非穿通型IGBT清静面场终止型IGBT、以及600V~1700V沟槽栅场终止型（Trench FS）IGBT ，基于Trench FS平台又乐成开发了650V/1200V逆导（RC）IGBT� ＠蠢吓乒使偻鴄pp8吋量产的最新一代高密度沟槽栅高能氢注入场终止IGBT ，饱和压降小、开关消耗低 ，且已通过车规级可靠性审核 ，产品应用于新能源汽车、光伏逆变、储能、工业工控等领域。
手艺能力
高密度沟槽栅刻蚀 ，LOCOS CMP ，Poly CMP ，Taiko背面研磨 ，高能氢注入 ，激光退火 ，高压大电流CP测试 ，Ring Cut & Dicing
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手艺简介
金属氧化物半导体场效应管（MOSFET ，Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）是由金属、氧化物及半导体三种 质料制成的器件。所谓功率MOSFET(Power MOSFET)是指它能输出较大的事情电流 ，用于功率输出级的器件 ，最高耐压可达900V。功率MOSFET主要用于电机控制（电动车、电动工具）、电源管理(锂电� ；� ，光伏储能)、开关电源（同步整流 ，PD快充)等领域。
平台现状
利来老牌国际官网app恒久专注于功率MOSFET工艺手艺平台开发 ，拥有富厚的MOSFET生产制造履历。现已形成包括Trench MOS ，SGT和Super-Junction MOSFET等在内的多种类MOSFET功率器件工艺手艺平台。其中利来老牌国际官网app8寸研发量产的SGT平台已涵盖30-200V ，且已通过车规级可靠性审核。该器件接纳电荷平衡手艺 ，可以显着减小器件的导通电阻和米勒电容 ，实现更优的品质因数（FOM） ，从而有用降低导通消耗 ，提高开关性能和事情效率 ，在不中止电源、电池管理系统、电机驱动、服务器等领域有普遍的应用。
手艺能力
高密度深沟槽栅刻蚀 ，高密度等离子体氧化物填充 ，多晶硅与氧化硅CMP ，Taiko背面研磨
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利来老牌国际官网app6吋/8吋线拥有富厚的TVS（瞬态电压制制器）工艺研发和生产履历 ；拥有特色的外延工艺和基于现有CMOS后段产线升级的工艺 ，能制造出超低电容和超低回折电压的高端产品 ，客户产品已经打入国际一流3C产品供应链 ，拥有能为海内外客户定制化平面型和沟槽型产品的工艺计划。
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手艺简介
快恢复二极管（FRD ，Fast Recovery Diode）具有快速的开通和高速关断能力 ，具有极短的反向恢复时间、较小的反向过冲电流和较好的软恢复特征 ，可用于续流二极管（FWD, Freewheeling diode） ，在IGBT关断后 ，为电路中的感性负载提供续流回路 ，减小电容的充放电时间 ，同时抑制负载电流的瞬时反向引起的高感应电压。同时 ，FRD也可以用于整流二极管。现在FRD普遍应用于消耗类电器、工业/工控、可再生能源、新能源汽车等领域。
平台现状
利来老牌国际官网app6吋拥有以外延片和扩散片为基础的FRD制程 ，支持电子辐照手艺举行少子寿命控制。已量产包括650V/750V/1200V/1700V的手艺平台工艺 ，并乐成开发出3300V/4500V/6500V的超高压平台。
利来老牌国际官网app8吋区熔片（FZ）FRD平台 ，接纳低发射极掺杂效率设计和高能氢注入缓冲层 ，以及业内最先进的局域寿命控制手艺（LLC ，Local Lifetime Control） ，具有低正向导通电压、软恢复特征、正温度系数等性能优势。最高结温175℃ ，并可通过车规级可靠性审核。产品应用于新能源汽车、大功率光伏逆变、储能、工业工控等领域。同时 ，在此基础上 ，开发了1200V外延（EPI）FRD平台 ，本钱更低 ，以知足客户的差别应用需求。
手艺能力
全局寿命控制 ，局域寿命控制 ，Taiko背面研磨 ，高能氢注入 ，激光退火 ，高压大电流CP测试 ，Ring Cut & Dicing
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手艺简介
MEMS 是使用集成电路制造手艺和微结构、微传感器、控制处置惩罚电路甚至接口电路、通讯电路和电源电路等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统 ，是微电路和微机械按功效要求在芯片上的集成 ，属于微电子手艺与机械工程团结的一种工业手艺 ，普遍应用于消耗电子领域 ，机械领域、汽车工业领域以及化工与医疗器械领域
平台现状
利来老牌国际官网app拥有凌驾10年的MEMS加工履历 ， 具有厚外延 ，深槽刻蚀 ，金属蒸金 ，富硅氮化硅以及其他定制化的解决计划 ， 现在具备光学MEMS传感器的研发和规模量产能力 ， 同时, MEMS扬声器仍在一连开发历程中。
手艺能力
CMOS兼容工艺、厚外延、深槽刻蚀、金属蒸金、富硅氮化硅 ，可应用于硅光通讯、消耗电子、工业控制